[반도체 기초] Etching 공정
해당 내용들은 반도체가 무엇인지 정말 모르시는 분들을 대상으로 작성되다 보니 다소 난이도가 쉬울 수 있습니다! [Etching(식각)] TFT(박막 트랜지스터, LCD, 반도체 제조 공정 중 원하는 패턴을 얻기 위한 공정으로 금속, 세라믹, 반도체 등의 표면에서 불필요한 부분을 화학적, 물리적으로 제거하여 원하는 모양을 얻는 공정이다. Dry or Wet Dry Wet 특성 물리적, 화학적 반응 진공 Chamber 정확성이 좋아 패터닝을 작게 제작 고비용, 낮은 처리량(Low Throughput) 선택비(Selectivity)가 나쁘다 미세공정 적합 화학적 반응 대기, Bath 저비용, 쉬운과정 식각속도가 빠르다 선택비가 좋다 낮은 정확성, 웨이퍼 오염 위험 방향성 대표 Anisotropic(비등방성) ..
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2020. 8. 17. 15:04
