[반도체 기초] 산화공정(Oxidation)
이 글의 내용은 반도체가 무엇인지 잘 모르시는 분들을 대상으로 하기 때문에, 난이도가 쉬울 수 있습니다! 반도체 전공정(산화공정) 출처: 렛유인 반도체 전공정 강의 [Oxidation] Si 실리콘 기판에 산화제와 열 E지를 공급하여 절연막 등 다양한 용도로 사용되는 SiO_2막을 형성하는 공정 산화공정의 변수 1) Method Thermal Oxidation, Chemical Vapor Deposition, Electrical Oxidation등의 종류가 있다. Thermal Oxidation: 생성된 Silicon dioxide는 Electrical insulator로서 device와 device, metal 과 metal 사이를 분리시켜 주는 절연체 역할을 한다. 또한 impurity diffusi..
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2020. 8. 19. 15:06